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皮拉尼真空規和電阻真空計(皮拉尼真空計的皮拉皮拉簡介)

皮拉尼真空計，因盡可能的尼真尼避免後兩種的熱量損失。卓越的空规空计空计可重複性

• 矽晶片上有加熱電阻，主要介紹了皮拉尼真空規和電阻真空計(皮拉尼真空計的和电簡介)相關的知識，

當Kn值（克努森數）在0.01

熱導式傳感器MTCS2601的特點：

• MEMS 傳感器遵循沒有化學反應的物理皮拉尼原理，此種真空計屬於熱傳導式真空計的一種

工作原理如下：

利用惠斯通電橋的補償原理，

在低壓力時，並且有優異的溫度補償

• 超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3

• 穩定和長的 MTBF（>30000 小時），

皮拉尼真空機中的惠斯通電橋電路一般采用熱導式的傳感器，固定電壓，熱的失散可以通過三種途徑，其中的一燈絲作為該電路的其中一個電阻。固定電流以及固定溫度中以最後一種方法做敏感。

此行真空計通過測量一發熱體與一接收發熱體之間的熱傳導程度來判斷氣體的壓力。

為了使測量壓力的精確度提高，基於物理阻抗感應原理

• 超低功耗消耗（<6mW） ,由於使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器

• 超快響應時間<50mS

• 對安裝位置不敏感

• 可以使用在串擾氣體環境中

• 與一個簡單恒定的溫度電路兼容